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       东海采用CVD法生产的Solid SiC产品被广泛应用于离子刻蚀等半导体设备中,我们的产品有以下几大优势:
1、无热变形
2、无气体释放
3、良好的化学稳定性
4、相比硅材料寿命长


⇒碳化硅(SIC)理化指标










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