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产品例:


      采用CVD法生产的Shower Head产品,在Etch设备中得到广泛应用。

优势:
1、无热变形
2、无气体释放
3、相比硅材料寿命更长
4、良好的化学稳定性


SiC SUSCEPTOR                                    

如有需求,请联系我司专线。








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